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【普樂斯】卷對卷型等離子清洗機 RTR100L-W500

品牌：普樂斯

名稱：卷對卷型等離子清洗機

型號：RTR100L-W500

功率：整機峰值功率4KW

用途：用于不同材料的表面處理、進行刻蝕

訂購熱線：400-816-9009

咨詢熱線：400-816-9009

產品特點

v真空室自動開關，一鍵式啟停，操作簡單方便
v真空室內置張力控制系統，穩定材料漲縮，使處理更加平穩
v高性能等離子發生器，激發更為穩定之等離子體
v水平電極結構設計，更適合柔性材料
v采用中通水冷電極，真正實現過程溫度控制，均衡均一
v獨特的卷曲設計，解決卷式材料穿料問題，牽引材料更便捷
v精確速度控制，精準控制速度的同時，實現恒張力恒速度

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產品參數

型號		RTR100L-W500
控制系統	控制方式	全自動控制（自動/手動切換）
		PLC（標配）/PC（可選）
	操作系統	Windows 10
	觸摸屏	7寸
整機規格	尺寸	W6900×D1650×H1150mm
腔體	處理寬幅	<520mm
	材質	鋁合金（標配）/不銹鋼（可選），腔體3段式
冰水機	通路	用于電源、電極、真空泵浦的冷卻
	供電	AC380V、3PH、50/60Hz、3KW
蝕刻能效	速率	≥0.5µm/Min
	均勻性	≥90%
真空計	薄膜硅電容耐腐蝕	1個，0-10Torr
流量計	MFC質量流量控制器	4個，量程0-2000ml/min
真空泵	干泵機組（螺桿泵+羅茨泵）	1套，120m³/h+1800 m³/h；極限真空值≤50mTorr
發生器	中頻	40KHz，20KW
溫度控制系統	過程溫度控制	30-150℃恒定可控
張力控制系統	數顯張力	-
其它	工藝氣體：14MPa減壓至0.3MPa，O₂=9.99%;Ar=99.99%;N₂=99.99%;CF₄=99.999% 氣體壓力：0.2MPa≤氣源≤1MPa；氣源壓力：0.3-0.8MPa；氣源純度：無油無水干燥氣體；工作環境溫度：≤30℃；凍水流量：5 SLM；干燥Air/N₂流量：17 SLM

注：以上參數僅供參考，本公司可能對相關產品參數進行調整，如有變動，恕不再另行通知。若有不明處，歡迎來電詢問。

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工作原理

利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、涂覆等目的。

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