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【普樂斯】真空等離子清洗設備半導體等離子表面處理機 PM/R-80LN

品牌：普樂斯

名稱：真空等離子清洗設備半導體等離子表面處理機

型號： PM/R-80LN

用途：適合于材料表面清潔、活化

訂購熱線：400-816-9009

咨詢熱線：400-816-9009

產品特點

v觸摸屏操作界面
v數字及圖標多重工藝參數實時顯示
v三色燈異常報警功能
v自動/手動操作模式切換
v可存儲多套工藝配方
v遠程操控，數據砸導出（可選）
v模塊多樣化選擇，多層托架可選，處理量大
v外觀設計專利201930499619.5
v軟件著作權 2019SR0011225

咨詢熱線：400-816-9009

產品參數

型號		PM-80LN	PR-80LN
控制系統	控制方式	全自動控制（自動/手動切換）
		PLC（標配）/PC（可選）
	操作系統	Windows 10
	觸摸屏	7寸
整機規格	尺寸	W850×D1100×H1700mm
腔體	尺寸	W450×D400×H450mm
	材質	鋁合金（標配）/不銹鋼（可選）
電極	尺寸	W440×D317mm
	層數	1-8層，可選
托架	材質	鋁合金（標配）/不銹鋼（可選）
	層數	1層
真空計	皮拉尼式真空計	1個
流量計	MFC質量流量控制器	2個；Ar、N₂、O₂（可選）
真空泵	機械油式旋片泵	1套
發生器	中頻/射頻	40KHz，0~1000W	13.56MHz，0~500W
額定功率	整機峰值功率	4KW
機臺供電	三相五線式	AC-380V
選購品	干式泵、氣浴電極（打孔）、托架、接枝氣化儀、防腐密封、腔體加熱、加熱盤、溫度傳感器、H₂安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、水冷電極、冰水機、模溫機、非標法蘭、陶瓷緊固件

注：以上參數僅供參考，本公司可能對相關產品參數進行調整，如有變動，恕不再另行通知。若有不明處，歡迎來電詢問。

咨詢熱線：400-816-9009

工作原理

在真空狀態下，壓力越來越小，分子間間距越來越大，分子間力越來越小，等離子清洗設備利用高頻源產生的高壓交變電場將氧、氬、氫、四氟化碳等工藝氣體震蕩成具有高反應活性或高能量的等離子體，然后與有機污染物及微顆粒污染物反應或碰撞形成揮發性物質，然后由工作氣體流及真空泵將這些揮發性物質清除出去，從而達到表面清潔、活化等目的。如圖所示：